坐在一侧的高永明嘴唇轻微蠕动,牙齿不断咬着内唇,用痛觉来消减笑意。
十年老班章?
怎么可能给你喝真的!
对于这位白吃白喝,负责监控他们使用光刻机的“活体监控摄像头”,不给你喝毒药就不错了,还给你喝十年老班章。
不过让高永明没想到的是,他曲程一把年纪了,居然这么损,戏还演的那么好。
二十块买的工业茶,硬是说成正宗老班章。
“啊!”
在喝了第二杯后,拉比兹也开门见山道:“两位找我,应该不只是喝茶吧?”
“对,找你订购光刻机。”曲程不紧不慢说道。
高永明见进入正题,也说出目的道:“我们想再订一台20纳米制程的光刻机。”
“噢?你要扩大生产?”
拉比兹看向高永明询问道。
高永明点了点头,想着怎么拖延时间道:“想试试接20纳米的订单,哦对了,14纳米的EUV光刻机你看能……”
话音未落,拉比兹打断道:“抱歉高总,EUV光刻机可不是我能够说了算的,你们自己也很清楚,到底是谁在限制你们。”
“说得也对,我们还是继续谈20纳米制程的DUV光刻机吧。”曲程打了个圆场道。
两人的任务很简单,就是拖延足够多的时间。
等另一位荷兰工程师来交班,估计就差不多了,现在就拼命拖延就完事了。
……
芯片生产车间。
20纳米制程光刻机内部。
第一块光掩膜版已经安装,光刻机镜头正射出193纳米波长的深紫外光光源,每次曝光,都会在底部的晶圆片上刻出设计好的芯片电路图案。
随着移动平台的不断移动,以及光刻机镜头的不断曝光,晶圆片被刻上了密密麻麻的芯片电路图,如果是生产20纳米芯片,现在就已经完成光刻,可以直接送交切割封装检测了。
但用DUV光刻机生产14纳米芯片,一次曝光根本不能满足需求,需要二次曝光。
“取出第一块光掩膜版,安装第二块光掩膜版。”林天目光看向冯承铭说道。
冯承铭立马照做。
当第二块光掩膜版放入光刻机镜头处,林天开始亲自校准,并讲解道:“听好了,多重曝光技术难的点在于晶圆对齐,如果两次的点位出现偏差,第二次曝光将会损坏第一次曝光留下的电路图案,因此要多加小心。”
在确认没问题以后,他看向冯承铭道:“二次涂抹光刻胶,进行二次曝光步骤。”
“明白了。”
冯承铭闻言照做。
“光刻胶要均匀分布,这点应该难不倒你们。”林天淡淡道。
在二次步骤准备好后,光刻机再次启动,开始在底部晶圆上进行二次曝光。
看似步骤简单,但其实任何微小的误差,都有可能导致整张晶圆报废。
一张晶圆报废,那就是十几万的损失。
因为一张12英寸的晶圆,也就是常说的硅片,它就能大概切出500枚芯片。
按照骁龙810处理器的市场价300元来算,损坏一张晶圆,就相当于损失了15万。
当然了。
14纳米的轻舟处理器会更贵!
随着光刻机启动,193纳米波长的深紫外光不断地曝光,底部的移动平台也不断移动,弥补第一次曝光电路图案的不足。
数分钟过去。
晶圆二次曝光结束。
等待片刻以后,林天戴上手套亲自取出晶圆,眯起眼睛仔细观察电路图案,大致看不出图案有重叠,但还需要进行测验。
“加急送去切割测验。”
冯承铭目光看向身旁的工程师,使了个眼色道:“小龙,你拿去切割测验。”
“我?”
那名工程师愣了愣。
他还没实操一遍呢,学不会多重曝光咋办?
冯承铭瞪了他一眼,像似在说你不去,难道要我去啊!
没办法。
那名工程师只好照做。
“好了,也给你们示范了,都自己试试,难度也就集中在晶圆对准上面。”
林天退后一步说道。
冯承铭做为龙芯国际首席,自然当仁不让道:“那我来试试。”
然而看似简单的步骤,却让这位院士几度折戟,对准的难度远比想象中难,出现些许偏差,直接损失一大半芯片。
“细心点,慢慢来。”
林天也不着急,反正浪费的不是他的钱。
在冯承铭还在摸索时,一位工程师上前套近乎道:“林首席,为什么你对准就没偏差,冯首席就……”
“呵!”
林天冷笑一声,微微仰头道:“我的眼睛就是尺,都是经验,好好学吧你们。”
又半小时过去。